חיישנים קונפוקליים למרחק דיוק גבוה, חספוס ומדידות עובי
חיישני IFS2407 של confocalDT מיועדים למדידה מדויקת של מרחק, חספוס ועובי. חיישנים כרומטיים קונפוקליים אלה מציעים צמצם מספרי גבוה, קוטר אור ספוט קטן העומד בזוויות מדידה גדולות, כך שהחיישנים יכולים לשמש גם למדידות חספוס. בנוסף, החיישנים מרשימים ביכולת הדיוק הננומטרי.
confocalDT IFS2407-0,1
- טווח מדידה (מ"מ): 0.1
- ליניאריות: מקסימום 0.05 מיקרומטר
- רזולוציה: מקסימום 3 ננומטר
- אידיאלי למדידות מרחק וחספוס
- משתנה חיישן עתיר אור לתהליכים מהירים זמינים (NA 0.7)
- גודל ספוט מדידה קטן: 3 מיקרומטר
- רגישות גבוהה וזווית מידה גדולה
- מדידת עובי של עצמים שקופים מ -5 מיקרומטר
confocalDT IFS2407-0,8
- טווח מדידה (מ"מ): 0.8
- ליניאריות: מקסימום 0.2 מיקרומטר
- רזולוציה: מקסימום 24 ננומטר
- כתם אור קטן
- עיצוב חיישן חיסכון מקום
- מדידות מרחק מדויקות אפילו על משטחים מעוקלים
- אידיאלי למדידות עובי של שכבות דקות
confocalDT IFS2407-1,5
- טווח מדידה (מ"מ) 1.5
- נקודת מדידה קטנה במיוחד של 5.5 מיקרומטר
- זווית מדידה ± 43° דגם בעל עוצמת אור גבוהה (NA > 0.7)
- מדידה בדיוק גבוה על משטחים מעוקלים ומחזירי אור
- מדידה יציבה על משטחים מובנים
confocalDT IFS2407-3
- טווח מדידה (מ"מ): 3
- ליניאריות: מקסימום 0.5 מיקרומטר
- רזולוציה: מקסימום 13 ננומטר
- מרחק קיזוז גדול כ -28 מ"מ
- זווית מדידה מקסימלית ± 30°
- אידיאלי למדידות על משטחים מעוקלים ומחזירים אור
confocalDT IFS2407/90-0,3
- טווח מדידה (מ"מ): 0.3
- ליניאריות: מקסימום 0.15 מיקרומטר
- רזולוציה: מקסימום 6 ננומטר
- אידיאלי למדידות תזוזה וחספוס
- גודל ספוט מדידה קטן: 6 מיקרומטר
- רגישות גבוהה וזווית מידה גדולה
