בדיקה ומדידה בדיוק גבוה של משטחים בעלי החזריות גבוהה
חיישני reflectCONTROL לוכדים ובודקים משטחים בעלי החזריות גבוהה ומשטחים שקופים למחצה בדיוק רב. בהתאם לדגם החיישן, הם מאפשרים בדיקות 2D ברזולוציה גבוהה לזיהוי פגמים, או מדידות 3D של פני השטח במלואם לצורך בדיקה מדויקת של צורה וגיאומטריה. דפלקטומטריית מדידת פאזה מאפשרת לזהות באופן אמין גם את הפגמים הקטנים ביותר ואת הסטיות בצורה.
מגוון היישומים נע מבדיקת פני שטח תעשייתית ועד מדידה אוטומטית של פרוסות מוליכים למחצה בקוטר של עד 300 מ"מ. כך ניתן לשלב משימות בדיקה תובעניות בתהליך הייצור באופן יעיל, עקבי וללא מגע.
בדיקה מדויקת של פני השטח ב-2D וב-3D עבור משימות מדידה ובדיקה תעשייתיות תובעניות.
מאפיינים
- בדיקה ללא מגע ב-2D וב-3D של משטחים בעלי החזריות גבוהה
- זיהוי פגמים ברזולוציה גבוהה ומדידת צורה מדויקת
- לכידת 3D מלאה של פני השטח של חלקים ופרוסות מוליכים למחצה בקוטר של עד 300 מ"מ
- זמני מדידה קצרים לבקרת איכות יעילה
- דיוק מדידה גבוה לבדיקות פני שטח תובעניות
- שילוב גמיש בתהליכי בדיקה וייצור אוטומטיים
- תוכנת 3DInspect עוצמתית
מדידת 2D ו-3D ללא מגע באמצעות דפלקטומטריה
האובייקט הנמדד מואר ללא מגע באמצעות דפוסי פסים מוגדרים. המשטח בעל ההחזריות הגבוהה משקף את הדפוסים אל שתי מצלמות, המזהות גם את השינויים והעיוותים הקטנים ביותר בפסים.
מרצפי התמונות שנקלטו, החיישן מפיק תמונות פאזה 2D ברזולוציה גבוהה. תמונות אלה מאפשרות זיהוי והערכה אמינים של פגמים בפני השטח. בדגמי reflectCONTROL בעלי יכולת 3D, נעשה שימוש נוסף במידע הפאזי לחישוב ענן נקודות תלת-ממדי, כלומר טופוגרפיית פני השטח.
בהתאם לדגם החיישן, ניתן לעבד את נתוני המדידה לצורך זיהוי אוטומטי של פגמים, בדיקת פני השטח ומדידת צורה ב-3D.
חדש: reflectCONTROL RCS3500-300 3D-Wafer-Warpage
חיישן למדידת עיוות ושטיחות 3D של פרוסות מוליכים למחצה, עם טווח מדידה של 300 מ"מ
לכידת פרוסה מלאה בצילום אחד בלבד - ללא שגיאות הנגרמות מחיבור תמונות ובאופטימיזציה למדידת משטחים מחזירי אור של פרוסות מוליכים למחצה. למדידות 3D מהירות ומדויקות של עיוות ושטיחות, למניעת התנגשויות באופן אמין בתהליך ההמשך ולשימוש בתהליכי בדיקה בסמוך לתהליך הייצור ותוך כדי תהליך הייצור.
בדיקת פני שטח מדויקת באמצעות חיישני דפלקטומטריה
חיישני הדפלקטומטריה של מיקרו-אפסילון משמשים לבדיקה מדויקת במיוחד של משטחים מבריקים ומחזירי אור. הם מזהים ללא מגע סטיות צורה זעירות, גליות ופגמים מקומיים בפני השטח, ברזולוציה גבוהה. יישומים אופייניים כוללים, בין היתר, את תעשיית המוליכים למחצה, רכיבים אופטיים, משטחי זכוכית, צגים וכן חלקים צבועים או מלוטשים.
החיישנים מאפשרים הן בקרת איכות של רכיבים בודדים והן בדיקה אוטומטית בתהליך הייצור. כך ניתן לזהות פגמים בשלב מוקדם, להפחית את כמות הפסולים ואת עבודות העיבוד החוזר ולהבטיח איכות מוצר גבוהה ואחידה.
3DInspect - תוכנה עוצמתית להגדרת פרמטרים ולהערכת נתונים
ממשק משתמש אינטואיטיבי
הגדרה פשוטה של פרמטרים ויצירה נוחה של תוכניות מדידה ב-3D מאפשרות הגדרה מהירה ויעילה של רצפי מדידה.
הפעלה תוך כדי תהליך הייצור
ממשק אוטומציה משולב שומר את תוכניות המדידה ומאפשר ביצוע מדידות אוטומטיות ללא יחידות בקרה נוספות.
רישום ואחסון
של נתוני 3D ישירות בתוכנה
תוכנה אחת לכל חיישני ה-3D של מיקרו-אפסילון
הגדרת פרמטרים
- הגדרת פרמטרי החיישן האופטימליים עבור משימת המדידה המתאימה
- טעינת ערכות פרמטרים
- בחירת האזור המיועד למדידה
עיבוד מקדים של נתונים
- התאמת ענן הנקודות לפני ההערכה, לדוגמה לצורך מיקום חוזר של ענן הנקודות באופן עקבי.
- שיפור או הפעלת מסננים להדגשת מאפיינים, הסרת נקודות לא רלוונטיות או יצירת חתכים.
הערכה
- יותר מ-80 תוכניות מדידה לחישוב הערכים הנמדדים הנדרשים
- הערכה ומדידה של חתכים שנוצרו קודם לכן
- שילוב של מספר תוכניות עבור משימות מדידה מורכבות
הפקת תוצאות המדידה
- הערכה ישירה של ערך נמדד כתוצאה (OK/NOK). הפקה אוטומטית של הערכים הנמדדים או של תוצאות ההערכה (נדרש רישיון "Automation")
- אותות מיתוג ויציאה באמצעות Fieldbus
