אינטרפרומטרים אור לבן בעלי דיוק גבוה למדידות מרחק ועובי ללא מגע
האינטרפרומטרים אור לבן החדשניים של Micro-Epsilon מציבים אמת מידה במדידות בדיוק גבוה של מרחק ועובי. חיישנים אלה מאפשרים תוצאות מדידה יציבות עם רזולוציית תת-ננומטר מציעים טווח מדידה ומרחק היסט גדול יחסית. אינטרפרומטרים אלה זמינים ב-3 סדרות: IMS5400-DS למדידות מרחק בתעשיה בדיוק-גבוה, IMS5400-TH למדידות עובי מדויקות וה- IMS5600-DS המתאים לוואקום למדידות מרחק עם רזולוציית פיקו-מטר.
מאפיינים
- מדידת מרחק מוחלטת עם דיוק ננומטרי
- מדידות עובי ללא תלות במרחק
- הטוב-מסוגו: רזולוציה30 פיקומטר (IMS5600-DS)
- יציבות אות גבוהה כתוצאה מאלגוריתמי הערכה חדשים ופיצוי טמפרטורה אקטיבי
- מרחק היסט גדול
- פרמטר פשוט המוגדר דרך ממשק אינטרנט
- חיישנים ממוטבים לתעשייה עם מארז מתכת קשיח וכבלים גמישים
- חיישנים וכבלים המתאימים לוואקום
אינטרפרומטר לתעשייה ולאוטומציה
האינטרפרומטר אור לבן התעשייתי מורכב מחיישן חזק, כבל חיישן גמיש ביותר ובקר במארז אלומיניום הניתן להתקנה על מסילת DIN. לבקר יש בקרת טמפרטורה אקטיבית, אשר מפצה על שינויים בטמפרטורת הסביבה ובכך משיגה יציבות טמפרטורה עצומה. הודות לתכנון החזק שלו, ניתן לשלב את האינטרפרומטר גם בסביבות תעשייתיות. אורכי כבל עד 10 מ' מאפשרים בנוסף הפרדה מרחבית של חיישן ובקר. עבור משימות מדידה בחדרים נקיים ובוואקום, חיישנים מתאימי וואקום, כבלים ואביזרי הזנת כבלים הנם זמינים.
רזולוציית z קיצונית ונקודת אור קטנה מאפשרים מדידות של הפרטים והמבנים הקטנים ביותר
חיישני האינטרפרומטר מאפשרים רזולוציה תת-ננומטרית. בנוסף, הם מייצרים נקודת אור בת 10 מיקרון על פני כל טווח המדידה. בכך מתאפשרת מדידה של פרטים קטנים כגון מבנים על מוליכים למחצה ורכיבים אלקטרוניים ממוזערים. נקודת האור נחזית על ידי כוונת לייזר ומאפשר את היישור של החיישן.
דגמי חיישנים חדשים עם עיצובים שונים
חיישני אינטרפרומטר חדשים בעלי עיצובים ומאפיינים שונים זמינים לשילוב בסביבות תובעניות. בשל נתיב האלומה של 90°, ניתן להתקין את IMP - DS0.5/90/VAC גם בחללי התקנה נמוכים. החיישן המיניאטורי החדש IMP - DS1/VAC הוא אחד החיישנים האופטיים הקטנים ביותר מבית מיקרו-אפסילון. בקוטר של 4 מ"מ וכבל משולב, ניתן להשתמש בחיישן גם בחללי התקנה מוגבלים מאוד. ניתן להשתמש בחיישנים ובכבלים הן בחדר הנקי והן בואקום
לייזר פיילוט מוגן בפטנט למיקום חיישן בקלות
אינטרפרומטרים של אור לבן משתמשים באור אינפרא אדום בטווח הלא נראה (אורך גל של כ-840 ננומטר), כלומר לא ניתן לראות את מיקום המדידה. כדי להמחיש את מיקום המדידה, מערכות מיקרו-אפסילון מצוידות בלייזר פיילוט המקרין נקודת אור על מיקום המדידה. בנוסף, לייזר הפיילוט משתמש בשיטה המוגנת בפטנט כדי לספק משוב על המרחק בנוסף למיקום המדידה. אם גוף המדידה נמצא במרחק הנכון ובטווח המדידה, נפלט זוהר קבוע על ידי לייזר הפיילוט. אם חפץ המדידה נמצא מחוץ לטווח המדידה, לייזר הפיילוט מהבהב.
מתאם הרכבה מתכוונן ליישור החיישן
כדי להשיג דיוק מקסימלי, האינטרפרומטרים חייבים להיות מיושרים בניצב ככל האפשר למטרה. עם מתאם ההרכבה המתכוונן, ניתן ליישר את החיישנים בצורה אופטימלית לאובייקט המדידה. ניתן גם ליישר את החיישן לאחר ההתקנה במכונה. המתאם התעשייתי מאפשר את התזוזה בצירים x ו-y וכן הטיית החיישן לאובייקט המדידה.
חדש: מתאם הרכבה מתכוונן למדידת עובי דו-צדדי
ה-JMA-Thickness מורכב משני מתאמי הרכבה מתכווננים, ותומך ביישור של חיישנים במדידות עובי דו -צדדיות. משמעות הדבר היא שניתן לסדר את נקודות המדידה באופן חופף לחלוטין על ציר אופטי, מה שמבטיח מדידות עובי אמינות בדיוק הגבוה ביותר. ה-JMA-Thickness אידיאלי לשילוב במכונות ובמפעלי ייצור. לוחות ההרכבה מראש המאפשרים התקנה מהירה וקלה.
קלות שימוש דרך ממשק אינטרנט
בשל ממשק אינטרנט ידידותי למשתמש, אין צורך בתוכנה נוספת כדי להגדיר את הבקר ואת החיישנים. ממשק האינטרנט נגיש דרך חיבור Ethernet ומאפשר הגדרה מהירה וקלה של, למשל, מיצוע, קצב מדידה וקביעות מוגדרות מראש.
Interface and signal processing units
ממשקים מודרניים להטמעה במכונות ומערכות
הבקר מציע ממשקים מוטמעים כגון Ethernet, EtherCat ו- RS422, וכן חיבורי מקודדים נוספים, יציאות אנלוגיות, כניסות סנכרון ו- I/Os דיגיטליים. זה מאפשר לאינטרפרומטר להיות משולב לתוך כל מערכות הבקרה ותוכניות הייצור.
Application
