חיישני תזוזה קיבוליים
מיקרו-אפסילון מציעה מגוון מקיף של חיישני תזוזה קיבולים. חיישנים קיבולים אלה משמשים למדידות תזוזה, מיקום וגם למדידות עובי. עיצובי חיישנים שונים מאפשרים אינטגרציה אופטימלית למכונות ולמערכות. חיישני ה-capaNCDT משיגים את הערכים הטובים ביותר במונחים של ליניאריות, יציבות טמפרטורה ורזולוציה. בעוד שדיוק תת-מיקרומטר מושג בסביבות תעשייתיות, אפילו דיוק תת-ננומטר הינו בר-השגה בסביבות נקיות.