אינטרפרומטר אור לבן למדידת מרחק מוחלטת עם דיוק ננומטרי
האינטרפרומטר אור לבן החדש IMS5400-DS פותח פרספקטיבות חדשות במדידת מרחק תעשייתי. לבקר יש תכונת הערכה חכמה ומאפשר מדידות מוחלטות עם דיוק ננומטרי במרחק היסט גדול יחסית. בהשוואה למערכות מדידה אופטיות מוחלטות אחרות, ה- IMS5400-DS מציעה שילוב ללא תחרות של דיוק, טווח מדידה ומרחק היסט.
מאפיינים
- מדידות מרחק אבסולוטיות מדויקות ברמת דיוק ננומטרית, מתאימות לפרופילים מדורגים
- מדידת מרחק רב-שיאית של עצמים שקופים
- חיישנים קומפקטיים וחזקים עם מרחק היסט גדול
- קצב מדידה עד 6 קה"צ למדידות במהירות גבוהה
- בקר חזק עם קירור פסיבי
- הגדרת תצורה קלה דרך ממשק אינטרנטי
- חיישנים קומפקטיים זמינים גם עם נתיב אלומה של 90°
מדידת מרחק מוחלטת ברזולוציה ננומטרית
ה-IMS5400-DS משמש למדידות בדיוק גבוהה של עקירה ומרחק. בניגוד לאינטרפרומטרים מסורתיים, IMS5400-DS מאפשר בנוסף מדידה יציבה של פרופילים מדורגים. הודות למדידה המוחלטת, סריקת מדרגות מבוצעת ביציבות אות ודיוק גבוהים. כאשר מודדים על עצמים נעים, ניתן לזהות באופן מהימן את הבדלי גובה ההטיה, הצעדים והשקעים.
מדידת מרחק עם ריבוי פיקים (multi-peak)
עם מדידת מרחק מרובת פיקים על עצמים שקופים, מוערכים בו זמנית עד 14 ערכי מרחק. לדוגמה, ניתן לקבוע את המרחק בין זכוכית לצלוחית מנשא. בנוסף, הבקר יכול לחשב את עובי הזכוכית בהתבסס על ערכי המרחק.
אידיאלי לסביבות תעשייתיות
חיישנים קשיחים ובקר במארז מתכת הופכים את המערכת למתאימה באופן אידיאלי להטמעה בקווי ייצור. הבקר יכול להיות מותקן בארון הבקרה דרך התקנה על מסילת DIN ומספק תוצאות מדידה יציבות מאוד עקב פיצוי טמפרטורה אקטיבי וקירור פסיבי. חיישנים קומפקטיים אלה חסכוניים מאוד במקום וניתן בנוסף לשלב אותם בחללים מוגבלים. כבלי סיבים אופטיים גמישים ביותר זמינים באורכים של עד 10 מטר ומאפשרים הפרדה מרחבית של חיישן ובקר. הרצה וקביעת פרמטרים בנוחות דרך ממשק אינטרנט ואינו דורש התקנת תוכנה כלשהי.
נקודת אור קטנה לפרטים והתבליטים הקטנים ביותר
החיישנים יוצרים נקודת אור קטנה על פני כל טווח המדידה. קוטר נקודת האור הוא 10 מיקרון בלבד ומאפשר זיהוי של פרטים קטנים כגון תבליטים על מוליכים למחצה ורכיבים אלקטרוניים ממוזערים.
מדידת משטחים מרובים
שיטת המדידה האינטרפרומטרית מאפשרת מדידות על משטחים רבים. הדבר מאפשר מדידות מרחק בדיוק גבוה על מתכות משתקפות, פלסטיק וזכוכית.
חדש: חיישנים גם עם נתיב אלומה של 90°
בשל גודלם הקומפקטי, ניתן לשלב חיישנים אלו גם במרחבים מוגבלים. בפרט, הדגמים עם נתיב אלומה של 90° דורשים שטח התקנה קטן משמעותית
.
מודלים רבים למשימות מדידה תובעניות
| Model | Measuring range / Start of measuring range |
Linearity | Number of measurable layers |
Fields of application |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-DS0,5/90/VAC | 1,5 mm /ca. 0,5 mm | ± 50nm | - | High-precision distance measurement in a clean room environment and vacuum, e.g. measurement on coated wafers. Non-magnetic titanium UHV variant enables use in strong magnetic fields, e.g. in medical technology (nuclear spinning or electron beam microscope) |
| IMS5400-DS10/90/VAC | 1,5 mm / 10 mm | |||
| IMS5400-DS19 | 2.1 mm / approx. 19 mm | ±50 nm | - | Industrial distance measurements e.g. in precision manufacturing |
| IMS5400-DS19/VAC | Precise positioning tasks and distance measurements in clean room environments and vacuum e.g. in display production for mask positioning | |||
| IMS5400MP-DS19 | Distance measurement: 2.1 mm / approx. 19 mm Thickness measurement: 0.01 ... 1.3 mm (for BK7, n=1.5) / approx. 19 mm |
±±50 nm for the first distance ±150 nm for each further distance |
Up to 13 layers | Industrial distance and thickness measurement e.g. in flat glass production |
| IMS5400MP-DS19/VAC | Precise distance and thickness measurement in clean room environments and vacuum e.g. in display production for distance and gap measurement |
Interface and signal processing units
ממשקים מודרניים להטמעה במכונות ומערכות
הבקר מציע ממשקים מוטמעים כגון Ethernet, EtherCat ו- RS422, וכן חיבורי מקודדים נוספים, יציאות אנלוגיות, כניסות סנכרון ו- I/Os דיגיטליים. זה מאפשר לאינטרפרומטר להיות משולב לתוך כל מערכות הבקרה ותוכניות הייצור.
