אינטרפרומטר אור לבן למדידת מרחק מוחלטת בדיוק תת-ננומטרי
האינטרפרומטר אור לבן החדש IMS5600-DS משמש למדידות מרחק בדיוק הגבוה ביותר. הבקר מציע כיול מיוחד עם הערכה חכמה ומאפשר מדידות מוחלטות עם רזולוציה תת-ננומטרית. האינטרפרומטר משמש למשימות מדידה עם דרישות הדיוק הגבוהות ביותר, למשל, בייצור אלקטרוניקה ומוליכים למחצה.
מאפיינים
- מדידת מרחק עם דיוק תת-ננומטרי
- הטוב ביותר בקטגוריה: רזולוציה של 30 פיקומטר
- מדידה אבסולוטית, מתאים לפרופילי צעד
- חיישנים קומפקטיים וחזקים עם מרחק היסט גדול
- קצב מדידה עד 6 קה"צ למדידות במהירות גבוהה
- הגדרת תצורה קלה דרך ממשק אינטרנטי
- חיישנים וכבלים המתאימים לריק
- חיישנים קומפקטיים גם עם נתיב אלומה של 90°
מדידת מרחק אבסולוטית עם טווח מדידה רחב וכן מרחק עד תחילת מדידה גדול יחסית.
מערכת המדידה, ה- IMS5600-DS משמשת למדידות מיקום ומרחקים ברמת דיוק גבוהה. המערכת מספקת ערכי מדידה אבסולוטיים ולכן יכולה לשמש גם למדידת מרחק של פרופילים מדורגים. הודות ליכולת מדידה אבסולוטית, ניתן לדגום דירוג גבהים עם יציבות אות גבוהה במיוחד. כאשר מודדים על עצמים נעים, ניתן לזהות באופן מהימן את הבדלי הגובה של הפרשי הגבהים, המדרגות והשקעים. מערכת המדידה מציעה רזולוציה סב-ננומטרית עם מרחק תחילת מדידה גדול ביחס לטווח המדידה.
מדידת מרחק עם ריבוי פיקים (multi-peak)
עם מדידת מרחק מרובת פיקים על עצמים שקופים, מוערכים בו זמנית עד 14 ערכי מרחק. לדוגמה, ניתן לקבוע את המרחק בין זכוכית לצלוחית מנשא. הבקר יכול לחשב את עובי הזכוכית מערכי המרחק.
מתוכן עבור מדידות ברזולוצה גבוה בואקום
ניתן להשתמש באינטרפרומטרים מדגפ IMS5600-DS למשימות מדידה בסביבות ואקום ובחדרים נקיים שבהם האינטרפרומטרים משיגים רזולוציה בתחום הסאב-ננומטר. עבור יישומי ואקום, מיקרו-אפסילון מציעה חיישנים מיוחדים, כבלים ואביזרי מעבר לתא הוואקום. חיישנים וכבלים אלה נטולי חלקיקים במידה גבוהה וניתן להשתמש בהם מחדרים נקיים ועד UHV.
מדידות מרחק יציבות בדיוק הגבוה ביותר
את הבקר של מערכת המדידה ניתן להתקין בארון הבקרה באמצעות הרכבתו על מסילת DIN ובכך למקם החיישן בסביבה הפעילנ שיספק תוצאות מדידה יציבות מאוד בזכות פיצוי טמפרטורה פעיל וקירור פסיבי. חיישנים קומפקטיים אלה חוסכים במקום ויש ולהם מחוברים סיבים אופטיים גמישים במיוחד. אורך הסיב האופטי הינו עד 10 מטר ומאפשרים הפרדה מרחבית בין החיישן לבקר. ניתן ליישר את החיישן בקלות ובמהירות מול המטרה בעזרת כוונת הלייזר המשולבת. הזמנה ושינוי פרמטרים מבוצעים בצורה נוחה באמצעות ממשק רשת ואינם דורשים כל התקנת תוכנה.
מדידה על משטחים מרובים
שיטת המדידה האינטרפרומטרית מאפשרת מדידות על משטחים רבים. בכך מתאפשרת מדידת מרחק ברמת דיוק גבוהה על מתכות רפלקטיביות, פלסטיק וזכוכית.
NEW: Sensors also with 90° beam path
Due to their compact size, these sensors can also be integrated into restricted spaces. In particular, the models with 90° beam path require significantly less required installation space.
מודלים רבים למשימות מדידה תובעניות
| Model | Measuring range / Start of measuring range |
Linearity | Number of measurable layers | Fields of application |
|---|---|---|---|---|
| IMS5600-DS19 | 2.1 mm / approx. 19 mm | ±10 nm | - | High precision distance measurements in industrial processes e.g. in precision manufacturing |
| IMS5600-DS19/VAC | Precise positioning tasks and distance measurements in clean room environments and vacuum e.g. in display production for mask positioning | |||
| IMS5600MP-DS19 | Distance measurement: 2.1 mm / approx. 19 mm Thickness measurement: 0.01 ... 1.3 mm (for BK7, n=1.5) / approx. 19 mm |
±10 nm for the first distance ±100 nm for each further distance |
Up to 13 layers | High-precision distance and thickness measurements in industrial processes e.g. in semiconductor production for determining layer thicknesses on wafers or in LED manufacturing |
| IMS5600MP-DS19/VAC | High-precision distance and thickness measurements in clean room environments and vacuum e.g. in semiconductor production for measuring position and gap dimensions on masks and wafers |
Interface and signal processing units
ממשקים מודרניים להטמעה במכונות ומערכות
הבקר מציע ממשקים מוטמעים כגון Ethernet, EtherCat ו- RS422, וכן חיבורי מקודדים נוספים, יציאות אנלוגיות, כניסות סנכרון ו- I/Os דיגיטליים. זה מאפשר לאינטרפרומטר להיות משולב לתוך כל מערכות הבקרה ותוכניות הייצור.
