חיישן 3D למדידת עיוות ושטיחות של פני השטח במלואם בפרוסות מוליכים למחצה בקוטר של עד 300 מ"מ
חיישני reflectCONTROL RCS3500-300 מאפשרים מדידת 3D מהירה של פרוסות מוליכים למחצה בקוטר של עד 300 מ"מ. בצילום אחד בלבד נלכד כל שטח פני הפרוסה ונבדק בדיוק רב לאיתור עיוות, קימור ועיוותים מקומיים. כך ניתן לזהות סטיות בשלב מוקדם, לפני שהן משפיעות על שלבי התהליך הבאים. זמן המדידה הקצר מאפשר ניטור איכות יעיל תוך שמירה על תפוקת ייצור גבוהה ואחידה - לשיפור אמינות התהליך, להפחתת כמות המוצרים הפסולים ולהוזלת עלויות ההמשך.
מאפיינים
- לכידת פרוסה מלאה בקוטר של עד 300 מ"מ בצילום אחד בלבד
- ללא שגיאות חיבור הנובעות משילוב של מדידות חלקיות
- מותאם למשטחים בעלי החזריות גבוהה של פרוסות מוליכים למחצה
- זמני רכישה קצרים החל משנייה אחת לבדיקות עיוות ושטיחות
- בקרת איכות יעילה תוך שמירה על תפוקת ייצור גבוהה ואחידה
- מניעת התנגשויות להגנה על שלבי התהליך הבאים
- מתאים לתהליכי בדיקה תוך כדי תהליך הייצור
דפלקטומטריה 3D של פני השטח במלואם עבור פרוסות מוליכים למחצה גדולות
עם קוטר טווח מדידה של 300 מ"מ ובמרחק עבודה של 370 מ"מ, החיישן מאפשר מדידה מלאה של פרוסות מוליכים למחצה בקוטר של עד 300 מ"מ בצילום אחד בלבד. כך מתקבל מערך נתוני 3D אחיד, ללא סריקה מכנית וללא חיבור של מספר מדידות חלקיות.
זמני מדידה קצרים למהירות תהליך גבוהה
חיישני reflectCONTROL RCS3500-300 3D-Wafer-Warpage רוכשים נתוני 3D מדויקים בתוך זמן קצר במיוחד. זמני הרכישה הקצרים, החל משנייה אחת, מקצרים את זמן השהייה של הפרוסה ובכך תומכים ברצפי בדיקה מהירים בתהליכים אוטומטיים.
הודות לעיבוד המהיר, ערכים נמדדים, מאפיינים או הערכות OK/NOK זמינים במהירות. כך ניתן להעביר את החלטות האיכות ישירות בחזרה לתהליך הייצור - אידיאלי לבדיקות תוך כדי תהליך הייצור, לזמני מחזור קצרים וליישומים מבוססי רובוט. עיוות, קימור, שטיחות וכיפופים מקומיות נבדקים במהירות ובאמינות.
יחידת IPU עוצמתית עם תוכנת 3DInspect
בשילוב עם יחידת Industrial Performance Unit (IPU). ממשקי PROFINET, EtherCAT ו-EtherNet/IP זמינים לאינטגרציה פשוטה בסביבות בקרה תעשייתיות. קובצי תיאור התקן מוכנים ומודל הבקרה הרציף של מיקרו-אפסילון מאפשרים הפעלה מהירה ובטוחה. תוכנת 3DInspect למשימות מדידה ובדיקה ב-3D כבר משולבת ב-IPU.
תחומי יישום
