מישוריות ועובי של מסכים וזכוכיות שטוחות
לצורך ייצור זכוכית למסכים, דרושים משטחי זכוכית בעובי קבוע. תהליך הייצור מכוון על סמך התוצאות שנמדדו. חיישנים כרומטיים קונפוקליים מבית מיקרו אפסילון משמשים למדידת העובי מצד אחד. הודות לקצב המדידה הגבוה של החיישנים, משתמשים בהם גם בתהליכים במהירות גבוהה. כאשר החיישנים פועלים בתנועה חוצה או במספר מסלולים, ניתן לתעד את המישוריות של משטחים שלמים.