חיישני מיקום קיבוליים מודדים את זווית ההטיה של מנשאי עדשות עד לדיוק ננומטרי. הודות למדידת דיוק גבוהה, מובטחת הקרנה הדירה. מספר חיישנים מודדים על המנשא המתכתי. הרזולוציה הגבוהה ביותר שלהם מאפשרת חשיפה מדויקת של הפרוסה.
