חיישני תזוזה מדויקים ביותר עבור יישומי סדרת OEM בהנדסת מוליכים למחצה
טכנולוגיית החיישנים של מיקרו-אפסילון משמשת בהצלחה בתעשיית המוליכים למחצה מזה שנים רבות, עם הפתרון המתאים לכל משימת מדידה: אנו מציעים חיישנים מדויקים במיוחד עבור תהליכים מורכבים בחזית, יישומי קצה אחורי ואוטומציה של טיפול בוופלים. פתרונות החיישנים שלנו בולטים בזכות דיוקם הגבוה, אמינותם ויציבותם ארוכת הטווח - אפילו בתנאי תהליך מאתגרים בסביבות ייצור שונות.
חיישנים אופטימליים עבור יישומי סדרת OEM
עבור יישומים סדרתיים, אנו משנים את החיישנים שלנו בהתאם למפרטים שלכם, למשל שינויים בכבל, בחומר החיישן ובעיצובו וכן בבקר. בנוסף, נעשה שימוש גם בחומרי חיישנים ספציפיים ליישום.
מפרט טכני של חיישן עבור יישומים סדרתיים:
- תואם לוואקום: חומרים בעלי פליטת גזים נמוכה וטכנולוגיות ייצור תואמות UHV
- טכנולוגיות חיבור מיוחדות
- תיוג ואריזה בהתאם לתקני תעשיית המוליכים למחצה
- אופטימיזציית ביצועים לדיוק מדידה יוצא דופן
- עמידות מרבית לשדות אלקטרומגנטיים
- סטנדרטים גבוהים של אבטחת איכות בכל שלבי התהליך
מוכנות לסמיקון – שיטות ייצור אופטימליות
כל החיישנים והמערכות עוברים הליכי ייצור ובדיקה מורכבים. זה קשור, בין היתר, לבחירה ומיקום של האלקטרוניקה, תהליך הייצור המכני וטכנולוגיית תהליך מיוחדת.
שיטות ייצור מיוחדות ביותר
- טכנולוגיית לייזר USP
- הלחמת ואקום בטמפרטורה גבוהה
- ייצור מכני מדויק
- בדיקות שריפה
- קווי שתילה אוטומטיים לחלוטין
- פסיבציה וציפוי של רכיבים וקבוצות מתגים
- תהליכי ניקוי מיוחדים
טכנולוגיית סליל משובצת
עבור פרויקטים תובעניים במיוחד של יצרני ציוד מקורי (OEM), אנו ממליצים על טכנולוגיית סליל משובץ או טכנולוגיית קבלים משובצים (ECT). הודות לתכנון החיישן הממוזער מחומר אנאורגני, כמעט כל דרגות החופש אפשריות לצורה החיצונית. ובזכות המצע הקרמי, החיישנים חזקים מכנית ויציבים ביותר. במידת הצורך, ניתן לשלב את כל האלקטרוניקה להערכה בחיישן. זה מאפשר להתאים חיישני ECT למצבי התקנה מיוחדים. חיישני ה-ECT מתאימים לתנאי השימוש הקשים ביותר והוכיחו את ערכם ביישומים רבים.
דיוק רב יותר עבור תעשיית המוליכים למחצה
מיקרו-אפסילון מציעה את הפתרון המתאים למגוון יישומים בתעשיית המוליכים למחצה - החל ממיקום אופטיקה מדויק ויישור שלבים ועד לקיבוע היברידי. החיישנים משמשים הן בתהליכים קדמיים והן בתהליכים אחוריים ובולטים בזכות דיוקם ואמינותם המעולים.
