מדידת עובי מדויקת של סרטים מוליכים חשמלית
המערכת הקיבולית TFG6220 מודדת את העובי הסרטים המוליכים חשמלית, לדוגמה סרטי סוללות, בדיוק מירבי. התקן ואקום שואב את האובייקט הנמדד, מחליק אותו ובכך מבטיח תמיכה אופטימלית ונטולת קמטים. כך ניתן לבצע את המדידה בדיוק האפשרי הגדול ביותר. המערכת משמשת לבדיקת איכות בצורה של דגימות אקראיות לא מקוונות. ה-TFG6220 מורכב מראש, מוכן לפעולה ומאפשר התחלה מהירה.
מאפיינים
- בדיקה לא מקוונת מהירה של עובי סרט
- רזולוציה: 10 ננומטר
- חזרתיות גבוהה: 1 מיקרומטר
- עובי סרט אפשרי: < 1 מ"מ
- תוצאות בדיוק גבוה הודות להחלקה אוטומטית של הסרט באמצעות ואקום
- תוסף מדידה משולב מאפשר התייחסות פשוטה לפני מדידת העובי
- ממשק אינטרנטי להגדרות אינטואיטיביות ותצוגת הערך הנמדד (אין צורך בהתקנת תוכנה)
מדידה מדויקת לאיכות אמינה
ה-TFG6220 מורכב מתושבת מדידה הכוללת חיישנים ובקר capaNCDT. העובי מחושב על ידי קיזוז המדידות משני החיישנים הקיבוליים. החלקה אוטומטית של אובייקט המדידה מתבצעת באמצעות מכשיר ואקום המחובר חיצונית. פעולה זו משיגה תוצאות מדויקות ברמת המיקרומטר.
החיישן הקיבולי המותקן באופן קבוע (1) באזור העליון של תושבת המדידה מודד את המרחק לאובייקט המדידה (2). תוסף המדידה (3) מספק משטח התייחסות שמעליו נשאב ומהודק אובייקט המדידה באמצעות ואקום. החיישן הקיבולי באזור התחתון (4) מודד על גבי תוסף המדידה ומפצה על הסטייה המכנית של משטח המגע.