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Im Lithografieprozess ist eine hochauflรถsende und langzeitstabile Messung von Maschinenbewegungen erforderlich, um maximale Prรคzision zu erzielen. Dank der hohen Auflรถsung ermรถglichen kapazitive Sensoren von Micro-Epsilon die nanometergenaue Positionierung der Masken. Vakuumtaugliche Ausfรผhrungen der Sensoren und Sensorkabel erlauben den Einsatz bis ins UHV. Zum Produkt capaNCDT 6200 Applikationen Branchen Additive Fertigung
capaNCDT 6200