עיוות ופיתול של פרוסות מוליכים למחצה

חיישנים כרומטיים קונפוקאליים סורקים את פני השטח של הפרוסה כדי לזהות קשתות, פיתולים ועיוותים. בקרי confocalDT, המציעים קצב מדידה גבוה, מבצעים מדידות דינמיות במיוחד ומאפשרים בדיקת שכבות בזמני מחזור קצרים.