קפוץ ישירות לניווט הראשי גישה ישירה לתוכן קפוץ לניווט משנה

עיוות ופיתול של פרוסות מוליכים למחצה

חיישנים כרומטיים קונפוקליים סורקים את פני השטח של הפרוסה כדי לזהות קשתות, פיתולים ועיוותים. בקרי confocalDT, המספקים קצב מדידה של 70 kHz מבצעים מדידות דינאמיות במיוחד, ומאפשרים לבדוק את הפרוסות בזמני מחזור קצרים.