חיישנים קונפוקליים למרחק דיוק גבוה, חספוס ומדידות עובי

• מדידה אמינה בטמפרטורות סביבה של עד ‎200 °‎C
• טווחי מדידה (מ״מ): ‎0.8 | 2 | 4
• טווח טמפרטורה: מקסימום ‎200 °‎C
• לינאריות: מקס. < ±0,18 µm
• רזולוציה: מקס. < 6 nm
• מארז נירוסטה ‎1.4404‎
• מתאים לוואקום עד רמת UHV
• וריאנטים של ‎90°‎

מידע נוסף על חיישני טמפרטורה גבוהה

• טווח מדידה (מ"מ): 0.1
• ליניאריות: מקסימום 0.05 מיקרומטר
• רזולוציה: מקסימום 3 ננומטר
• אידיאלי למדידות מרחק וחספוס
• משתנה חיישן עתיר אור לתהליכים מהירים זמינים (NA 0.7)
• גודל ספוט מדידה קטן: 3 מיקרומטר
• רגישות גבוהה וזווית מידה גדולה
• מדידת עובי של עצמים שקופים מ -5 מיקרומטר

• טווח מדידה (מ״מ): ‎0.8‎
• לינאריות: מקסימום ‎0.2‎ מיקרון
• רזולוציה: מקסימום ‎24‎ ננומטר
• כתם אור קטן
• עיצוב חיישן חסכוני במקום
• מדידות מרחק מדויקות גם על משטחים מעוקלים
• אידיאלי למדידות עובי של שכבות דקות

• טווח מדידה (מ"מ) 1.5
• נקודת מדידה קטנה במיוחד של 5.5 מיקרומטר
• זווית מדידה ‎± 43°
דגם בעל עוצמת אור גבוהה (NA > 0.7)
• מדידה בדיוק גבוה על משטחים מעוקלים ומחזירי אור
• מדידה יציבה על משטחים מובנים

• טווח מדידה (מ"מ): 3
• ליניאריות: מקסימום 0.5 מיקרומטר
• רזולוציה: מקסימום 13 ננומטר
• מרחק קיזוז גדול כ -28 מ"מ
• זווית מדידה מקסימלית ± 30°
• אידיאלי למדידות על משטחים מעוקלים ומחזירים אור

• טווח מדידה (מ"מ): 6
• ליניאריות: מקסימום 1 מיקרומטר
• רזולוציה: מקסימום 15 ננומטר
• מרחק היסט גדול כ -32 מ"מ
• אידיאלי למדידות מהירות ודיוק גבוה על משטחים מאתגרים
• עוצמת אור גבוהה אפילו על משטחים כהים/מחזירי אור גרועים

• ווח מדידה (מ"מ): 0.3
• לינאריות: מקסימום 0.15 מיקרומטר
• רזולוציה: מקסימום 6 ננומטר
• אידיאלי למדידות תזוזה וחספוס
• כתם מדידה קטן 6 מיקרומטר
• רגישות גבוהה וזווית מדידה רחבה
• נתיב קרן 90°, אידיאלי להרכבה במרחבים מוגבלים