Confocal sensors for distance & thickness measurements with special requirements

סדרת IFS2406 הקונפוקלית בולטת בזכות העיצוב הקומפקטי ורמת הדיוק הגבוהה שלה. בנוסף למדידת מרחק על משטחים משתקפים או שקופים, ניתן ליישם את החיישן גם במדידת עובי חד-צדדית של פילם, לוחיות או שכבות שקופות. בשל כיווני המדידה הציריים והרדיאליים שלהם, חיישני IFS2406-2,5 מתאימים ליישומי ואקום והם גמישים בצורה יוצאת דופן ביכולות השימוש שלהם.

confocalDT IFS2406

  • Measuring ranges (mm): 2.5 | 3 | 10
  • Linearity max. 0.75 µm
  • Resolution max. 0.024 µm
  • Distance and one-sided thickness measurements
  • Small light spot
  • Vacuum compatible sensor

confocalDT IFS2406-3/VAC(001)

  • Measuring ranges (mm): 3
  • Linearity max. 1.5 µm
  • Resolution max. 0.05 µm
  • Distance and one-sided thickness measurements
  • Small light spot
  • Vacuum compatible sensor

Micro-Epsilon Messtechnik
Königbacher Str. 15
94496 Ortenburg
info@micro-epsilon.de
+49 8542 / 168 - 0
+49 8542 / 168 - 90