חיישנים כרומטיים קונפוקליים

confocalDT IFS 2407-0,1

ניתן לבצע יישומים רבים מאוד באמצעות דגמי חיישנים שונים. בנוסף לחיישנים הרגילים למשימות מדידה ברמת דיוק גבוהה, קיימים גם חיישנים זעירים בעלי כיווני מדידה ציריים ורדיאליים. החיישנים הם פסיביים ולא מקרינים חום על המטרה, תכונה המאפשרת להם, בהתאם לדגם, לשמש בסביבות שונות, בוואקום למשל.

Klapper_IFS-2402_500x250

חיישני התזוזה הקונפוקליים confocalDT IFS2402 מתאימים במיוחד ליישומים בדיוק גבוה בחללי התקנה מצומצמים. חיישנים כרומטיים קונפלוקליים זעירים אלה, בעלי קוטר חיצוני של 4 מ"מ בלבד במארז מפלדת אלחלד, משמשים למדידה בחללים צרים או בקידוחים. יתרון מיוחד ישנו לדגם החיישן עם מסלול קרן רדיאלי המאפשר לאתר קירות ומבנים.

מאפיינים
  • טווחי מדידה (מ"מ): 0.4 | 1.5 | 2.5 | 3.5
  • לינאריות מרבית: 0.3 מיקרומטר
  • רזולוציה מרבית: 0.016 מיקרומטר
  • חיישנים זעירים ייחודיים
  • מדידה בתוך קידוחים
  • גרסה צירית או רדיאלית
  • מארז פלדה או טיטניום
  • דגם 90 מעלות עם שיפוע לשיוור מדויק
Klapper_IFS-2403_500x250

חיישן המדידה הקונפוקלי כרומטי confocalDC IFC2403 משלב את יתרונותיהם של שני מושגי תכנון קונפוקליים מצליחים. לחיישן קוטר חיצוני של 8 מ»מ, והוא קטן מימדים בדומה לחיישנים הזעירים בסדרת confocalDT IFS2402. עם זאת, תודות לצמצם הדיגיטלי הגדול יותר שלו, החיישן מסוגל לקבל הרבה יותר אור משתקף מאשר החיישן בעל הצמצם בקוטר 4 מ«מ. חיישנים אלה זמינים הן כדגם רדיאלי והן כדגם צירי.

מאפיינים
  • טווחי מדידה (מ"מ): 0.4 | 1.5 | 4 | 10
  • לינאריות מרבית: 0.3 מיקרומטר
  • רזולוציה מרבית: 0.016 מיקרומטר
  • חיישן בתכנון היברידי
  • מארז פלדה
  • מרחק קיזוז מוגדל
  • כיוון מדידה צירי ורדיאלי
Klapper_IFS-2404-2_500x250

חיישני התזוזה confocalDT IFS2404 מיועדים ליישומי דיוק גבוה בחללי התקנה מצומצמים. על בסיס טכנולוגיית עדשות מיוחדת, חיישנים אלה מספקים רזולוציה גבוהה וקוטר נקודת אור קטנה. הם מתאימים באופן מיטבי ליישומים בעלי נפח גבוה.

מאפיינים
  • טווח מדידה: 2 מ"מ
  • לינאריות מרבית: 1 מיקרומטר
  • רזולוציה: 0.040 מיקרומטר
  • מדידת מרחק ועובי חד-צדדית
confocal-sensor-IFS2404-90-2

חיישן confocalDT IFS2404/90-2 90° מיועד למדידות מדויקות של תזוזה, מרחק, מיקום ועובי. חיישן זה מצויד בעדשת 90 מעלות ולכן מתאים באופן אידיאלי להתקנה בחללים מצומצמים. חיישני סדרת 2404, המבוססים על טכנולוגיית עדשות מיוחדת, מספקים רזולוציה גבוהה וקוטר נקודת אור קטנה. הם מתאימים באופן מיטבי ליישומים בכמויות גדולות.

מאפיינים
  • טווח מדידה: 2 מ"מ
  • לינאריות מרבית: 1 מיקרומטר
  • רזולוציה: 0.040 מיקרומטר
  • ליישומים בכמויות גדולות
  • עדשת 90 מעלות להתקנה בחללים מצומצמים
Klapper_IFS-2405_500x250

חיישני confocalDT IFS 2405 הם חיישני למדידת של תזוזה קונופוקליים ליישומים מדויקים במיוחד. חיישנים כרומטיים קונפוקליים אלה מספקים מרחקי קיזוז גדולים ועומדים בפני הטיות. הם משמשים למשימות מדידה נפוצות ובנוסף לכך, מתאימים למדידת עובי חד- צדדית של חומרים שקופים. חדש: חיישן זה זמין כעת גם בטווח מדידה של 6 מ"מ, המתאים באופן מיטבי למדידות ממרחק בטוח למטרה.

מאפיינים
  • טווחי מדידה (מ"מ): 0.300 | 1 | 3 | 6 | 10 | 28 | 30
  • לינאריות מרבית: 0.15 מיקרומטר
  • רזולוציה מרבית: 0.01 מיקרומטר
  • מדידת מרחק ועובי חד-צדדית
  • רגישות גבוהה
Klapper_IFS-2406_500x250

סדרת IFS2406 הקונפוקלית בולטת בזכות העיצוב הקומפקטי ורמת הדיוק הגבוהה שלה. בנוסף למדידת מרחק על משטחים משתקפים או שקופים, ניתן ליישם את החיישן גם במדידת עובי חד-צדדית של פילם, לוחיות או שכבות שקופות. בשל כיווני המדידה הציריים והרדיאליים שלהם, חיישני IFS2406-2,5 מתאימים ליישומי ואקום והם גמישים בצורה יוצאת דופן ביכולות השימוש שלהם.

מאפיינים
  • טווחי מדידה (מ"מ): 2.5 | 3 | 10
  • לינאריות מרבית: 0.75 מיקרומטר
  • רזולוציה מרבית: 0.024 מיקרומטר
  • מדידת מרחק ועובי חד-צדדית
  • נקודת אור קטנה
  • מתאים לתנאי ואקום
Klapper_IFS-2407_500x250

החיישן °confocalDC IFC2407/90-0,3 90 הקונפוקלי הכרומטי מיועד למדידות תזוזה מדויקת ומדידות חספוס פני השטח. החיישן מצויד בעדשת 90 מעלות ולכן מתאים באופן מיטבי להתקנה בחללים מצומצמים. העדשה בחיישן מייצרת גודל נקודת מדידה קטן המאפשר רזולוציה מרחבית גבוהה. הגודל הקטן של נקודת המדידה יחד עם זווית הטיה גדולה מאפשרים מדידות חספוס כאשר נדרש דיוק מרבי.

מאפיינים
  • טווח מדידה (מ"מ): 0.3
  • לינאריות מרבית: 0.75 מיקרומטר
  • רזולוציה מרבית: 0.10 ננומטר
  • אידיאלי למדידות תזוזה וחספוס
  • גודל קטן של נקודת המדידה: 6 מיקרומטר
  • רגישות גבוהה וזווית הטיה גדולה
Klapper_IFS-2407-0,1_500x250

חיישן confocalDT IFS2407-0,1 מיועד למדידות בדיוק גבוה של מרחק, חספוס ועובי. הצמצם המספרי הגבוה (NA 0.8) מאפשר מדידת עובי של עצמים שקופים בעובי מינימלי של 5 מיקרומטר. דגם חיישן עתיר-אור אחר, בדירוג NA 0.7, תוכנן במיוחד לתהליכים במהירות גבוהה.

מאפיינים
  • טווח מדידה (מ"מ): 0.1
  • לינאריות מרבית: 0.05 מיקרומטר
  • רזולוציה מרבית: 3 ננומטר
  • אידיאלי למדידת מרחק וחספוס
  • קיימת גרסת חיישן עתירת-אור (NA 0.7) לתהליכים במהירות גבוהה
  • גודל קטן של נקודת המדידה: 3 מיקרומטר
  • רגישות גבוהה וזווית הטיה גדולה
  • מדידת עובי של אובייקטים שקופים מ-5 מיקרומטר ומעלה
confocal-chromatic-sensors-IFS2407-3

לחיישן ConfocalDT IFS2407-3 הכרומטי הקומפקטי טווח מדידה גדול של 3 מ"מ עם מרחק קיזוז גדול. בשל זווית ההטיה הגדולה של כ-30 מעלות בעת המדידה החיישן מתאים במיוחד למדידות על משטחים מעוגלים פלנטרים כמו עדשות קמורות פגמים בשבבי מיקרו אלקטרוניקה וחריצים חיצוניים בזמן ייצור למדידת שינוי בגבהים על פני שטח בגובה של 100 עד 300 מיקרונים ומתחלת לזה .

מאפיינים
  • טווח מדידה (מ"מ): 3
  • לינאריות מרבית: 0.75 מיקרומטר
  • רזולוציה מרבית: 20 ננומטר
  • מרחק קיזוז גדול, כ-28 מ"מ
  • זווית הטיה מרבית: כ-30 מעלות
  • אידיאלי למדידות על משטחים מעוגלים ומחזירי אור

Micro-Epsilon Messtechnik
Königbacher Str. 15
94496 Ortenburg
info@micro-epsilon.de
+49 8542 / 168 - 0
+49 8542 / 168 - 90