כדי להאיר רכיבים ספציפיים בפרוסות הסיליקון, מכשירים ליתוגרפיים מניעים את הפרוסה למיקום המתאים. חיישני תזוזה קיבוליים מודדים את מיקום מסלול התנועה על מנת להגיע למיקום ברמת דיוק ננומטרית.
