קפוץ ישירות לניווט הראשי גישה ישירה לתוכן קפוץ לניווט משנה

ניטור שיוור של עדשות באמצעות חיישני קונפוקל כרומטיים

חיישנים קונפוקל כרומטיים משמשים למדוד את שיוור של העדשה. מספר חיישנים מודדים ישירות על העדשה כדי לזהות את זווית ההטיה עד לדיוק ננומטרי. בניגוד לחיישנים אלקטרומגנטיים, חיישנים הקונפוקל מודדים באמינות גבוהה גם על משטחי זכוכית. הודות לקצב המדידה הגבוה, אפילו שינויים דינמיים של תנועת העדשה יכולים להיות מזוהים באופן מהימן.