מיקום מערכת העדשות במכונות ליתוגרפיה

חיישנים אינדוקטיביים למדידת תזוזה ללא-מגע (זרמי ערבולת) מודדים את מיקום מכלולי העדשות על מנת להשיג את דיוק ההדמיה הגבוה ביותר שניתן. כתלות במערכת העדשות, חיישני תזוזה של מיקרו-אפסילון משמשים לזיהוי תנועה ומיקום בעד 6 דרגות חופש. חיישני eddyNCDT מספקים תגובת תדר גבוהה, וכך עוקבים גם אחר תנועות דינמיות מאוד של מערכת העדשות.

Micro-Epsilon Messtechnik
Königbacher Str. 15
94496 Ortenburg
info@micro-epsilon.de
+49 8542 / 168 - 0
+49 8542 / 168 - 90