מיקום מערכת העדשות במכונות ליתוגרפיה

חיישנים אינדוקטיביים למדידת תזוזה ללא-מגע (זרמי ערבולת) מודדים את מיקום מכלולי העדשות על מנת להשיג את דיוק ההדמיה הגבוה ביותר שניתן. כתלות במערכת העדשות, חיישני תזוזה של מיקרו-אפסילון משמשים לזיהוי תנועה ומיקום בעד 6 דרגות חופש. חיישני eddyNCDT מספקים תגובת תדר גבוהה, וכך עוקבים גם אחר תנועות דינמיות מאוד של מערכת העדשות.

אלינה טכנולוגיות בע"מ
3 Hametzuda St
POB 11475
Azur, 58001, Israel
elina@inter.net.il
+972-3-5590277
+972-3-5590360