מיקום מסכות בהדפסת ליתוגרפיה

תהליכי ליתוגרפיה דורשים מדידה ברזולוציה גבוהה לאורך זמן של תנועות מכונה על מנת להשיג דיוק מרבי. הרזולוציה הגבוהה של החיישנים מבית מיקרו-אפסילון מאפשרת מיקום מסכות בדיוק של ננו-מטר. התכן של החיישנים מתאים לסביבת ואקום ומאפשר שימוש בחיישנים ובכבלים בואקום חזק במיוחד (UHV).

View product

capaNCDT 6200

אלינה טכנולוגיות בע"מ
3 Hametzuda St
POB 11475
Azur, 58001, Israel
elina@inter.net.il
+972-3-5590277
+972-3-5590360