אינטרפומטרים עם אור לבן בדיוק גבוה למדידות מרחק ועובי אבסולוטיות
מדדי האינטרפרומטרים החדשים של האור הלבן מבית מיקרו-אפסילון קבעו רף במדידות מרחק ועובי ברמת דיוק גבוהה. האינטרפרומטרים האבסולוטיים מאפשרים תוצאות מדידה יציבות עם רזולוציה תת-ננומטרית המציעה טווח מדידה גדול יחסית ומרחק היסט. האינטרפרומטרים משמשים למדידת מרחק ועובי מוחלטים של עצמים שקופים ודיסקים.
שכנע את עצמך: דיוק מדידה ברמה הגבוהה ביותר עבור יישומים בתעשייה ובבניית מכונות מוליכים למחצה.
דגמים
יתרונות משמעותיים של אינטרפומטרים עם אור לבן חדשניים
- מדידת מרחק אבסולוטית עם דיוק ננומטרי
- מדידת עובי מהימנה: עובי חומרים החל מ-1 מיקרומטר, ללא קשר למרחק החיישן
- מדידת מרחקים עם מספר שיאים ומדידת עובי רב-שכבתי
- הכי טוב בקטגוריה: רזולוציה < 30 פיקומטרים (IMS5600)
- יציבות אות גבוהה בזכות אלגוריתמים חדשים להערכה ופיצוי טמפרטורה פעיל
- מרחק סטייה גדול
- חיישנים מותאמים לתעשייה עם מארז מתכתי עמיד וכבלים גמישים
- חיישנים וכבלים תואמים לוואקום
- הפעלה פשוטה וכיול מהיר בשטח
אינטרפרומטר לתעשייה ולאוטומציה
האינטרפרומטר אור לבן התעשייתי מורכב מחיישן חזק, כבל חיישן גמיש ביותר ובקר במארז אלומיניום הניתן להתקנה על מסילת DIN. לבקר יש בקרת טמפרטורה אקטיבית, אשר מפצה על שינויים בטמפרטורת הסביבה ובכך משיגה יציבות טמפרטורה עצומה. הודות לתכנון החזק שלו, ניתן לשלב את האינטרפרומטר גם בסביבות תעשייתיות. אורכי כבל עד 10 מ' מאפשרים בנוסף הפרדה מרחבית של חיישן ובקר. עבור משימות מדידה בחדרים נקיים ובוואקום, חיישנים מתאימי וואקום, כבלים ואביזרי הזנת כבלים הנם זמינים.
רזולוציית z קיצונית ונקודת אור קטנה מאפשרים מדידות של הפרטים והמבנים הקטנים ביותר
חיישני האינטרפרומטר מאפשרים רזולוציה תת-ננומטרית. בנוסף, הם מייצרים נקודת אור בת 10 מיקרון על פני כל טווח המדידה. בכך מתאפשרת מדידה של פרטים קטנים כגון מבנים על מוליכים למחצה ורכיבים אלקטרוניים ממוזערים. נקודת האור נחזית על ידי כוונת לייזר ומאפשר את היישור של החיישן.
דגמי חיישנים חדשים עם עיצובים שונים
חיישנים חדשים עם עיצובים ומאפיינים שונים זמינים לשילוב בסביבות תובעניות. בשל נתיב האלומה שלהם בזוית 90°, ניתן להרכיב גם את IMP-DS0.5/90/VAC וגם את IMP-DS10/90/VAC בחללי התקנה קטנים. החיישן המיניאטורי החדש IMP-DS1/VAC הוא אחד מחיישנים האופטיקה הקטנים ביותר מבית Micro-Epsilon. עם קוטר של 4 מ"מ וכבל משולב, ניתן להשתמש בחיישן גם בחללי התקנה קטנים במיוחד. ניתן להשתמש בחיישנים ובכבלים גם בחדר נקי וגם בוואקום.
לייזר פיילוט מוגן בפטנט למיקום חיישן בקלות
מדדי אינטרפרומטרים של אור לבן משתמשים באור אינפרא אדום בטווח שאינו נראה (כ-840 ננומטר אורך גל), מה שאומר שלא ניתן לראות את מיקום המדידה. כדי להמחיש את עמדת המדידה, מערכות מיקרו-אפסילון מצוידות בלייזר פיילוט המקרין נקודת אור על עמדת המדידה. בנוסף, לייזר הפיילוט משתמש בשיטה המוגנת בפטנט כדי לספק משוב על המרחק בנוסף למיקום המדידה. אם אובייקט המדידה נמצא במרחק הנכון ובטווח המדידה, זוהר קבוע נפלט על ידי לייזר הפיילוט. אם עצם המדידה נמצא מחוץ לטווח המדידה, לייזר הפיילוט מהבהב.
אינטגרציה פשוטה באתר
- החלפת רכיבים מאפשרת אינטגרציה גמישה
- שירות מהיר ויעיל בשטח
- החלפת מקור אור אפשרית על ידי צוות השירות של מיקרו-אפסילון על פס הייצור
- החלפת חיישן מאותו סוג (ל-IMS5400): אין צורך בהסרת חיישן או כיול מחדש במפעלי מיקרו-אפסילון
- שינוי אורך והחלפת כבלים מאותו סוג אפשריים על ידי הלקוח: אין צורך לשלוח את המערכת.
מתאם הרכבה מתכוונן ליישור החיישן
כדי להשיג דיוק מקסימלי, האינטרפרומטרים חייבים להיות מיושרים בניצב ככל האפשר למטרה. עם מתאם ההרכבה המתכוונן, ניתן ליישר את החיישנים בצורה אופטימלית לאובייקט המדידה. ניתן גם ליישר את החיישן לאחר ההתקנה במכונה. המתאם התעשייתי מאפשר את התזוזה בצירים x ו-y וכן הטיית החיישן לאובייקט המדידה.
חדש: מתאם הרכבה מתכוונן למדידת עובי דו-צדדי
ה-JMA-Thickness מורכב משני מתאמי הרכבה מתכווננים, ותומך ביישור של חיישנים במדידות עובי דו -צדדיות. משמעות הדבר היא שניתן לסדר את נקודות המדידה באופן חופף לחלוטין על ציר אופטי, מה שמבטיח מדידות עובי אמינות בדיוק הגבוה ביותר. ה-JMA-Thickness אידיאלי לשילוב במכונות ובמפעלי ייצור. לוחות ההרכבה מראש המאפשרים התקנה מהירה וקלה.
קלות שימוש דרך ממשק אינטרנט
בשל ממשק אינטרנט ידידותי למשתמש, אין צורך בתוכנה נוספת כדי להגדיר את הבקר ואת החיישנים. ממשק האינטרנט נגיש דרך חיבור Ethernet ומאפשר הגדרה מהירה וקלה של, למשל, מיצוע, קצב מדידה וקביעות מוגדרות מראש.
Interface and signal processing units
ממשקים מודרניים להטמעה במכונות ומערכות
הבקר מציע ממשקים מוטמעים כגון Ethernet, EtherCat ו-RS422, וכן חיבורי מקודדים נוספים, יציאות אנלוגיות, כניסות סנכרון ו-I/Os דיגיטליים. זה מאפשר לאינטרפרומטר להיות משולב לתוך כל מערכות הבקרה ותוכניות הייצור.
Application
