אינטרפרומטר אור לבן למדידת מרחק מוחלטת בדיוק תת-ננומטרי

Distance measurements with subnanometer resolution
interferoMETER IMS5600-DS
Distance measurements with subnanometer resolution
New:

האינטרפרומטר אור לבן החדש IMS5600-DS משמש למדידות מרחק בדיוק הגבוה ביותר. הבקר מציע כיול מיוחד עם הערכה חכמה ומאפשר מדידות מוחלטות עם רזולוציה תת-ננומטרית. האינטרפרומטר משמש למשימות מדידה עם דרישות הדיוק הגבוהות ביותר, למשל, בייצור אלקטרוניקה ומוליכים למחצה.

מאפיינים
  • מדידת מרחק עם דיוק בתחום הסאב-ננומטרי
  • הכי טוב בתחומו: רזולוציה קטנה מ-30 פיקומטר
  • מדידה אבסולוטית, אידאלי למדידות מדורגות
  • חיישנים קומפקטים ומוקשחים עם טווח תחילת מדידה גדול
  • קצב מדידה עד 6kHz עבור מדידות מהירות
  • Ethernet, EtherCAT, RS422
  • הגדרה קלה דרך ממשק אינטרנט
  • חיישנים וכבלים המתאימים לוואקום

מדידת מרחק אבסולוטית עם טווח מדידה רחב וכן מרחק עד תחילת מדידה גדול יחסית.

מערכת המדידה, ה- IMS5600-DS משמשת למדידות מיקום ומרחקים ברמת דיוק גבוהה. המערכת מספקת ערכי מדידה אבסולוטיים ולכן יכולה לשמש גם למדידת מרחק של פרופילים מדורגים. הודות ליכולת מדידה אבסולוטית, ניתן לדגום דירוג גבהים עם יציבות אות גבוהה במיוחד. כאשר מודדים על עצמים נעים, ניתן לזהות באופן מהימן את הבדלי הגובה של הפרשי הגבהים, המדרגות והשקעים. מערכת המדידה מציעה רזולוציה סב-ננומטרית עם מרחק תחילת מדידה גדול ביחס לטווח המדידה.

מתוכן עבור מדידות ברזולוצה גבוה בואקום

ניתן להשתמש באינטרפרומטרים מדגפ IMS5600-DS למשימות מדידה בסביבות ואקום ובחדרים נקיים שבהם האינטרפרומטרים משיגים רזולוציה בתחום הסאב-ננומטר. עבור יישומי ואקום, מיקרו-אפסילון מציעה חיישנים מיוחדים, כבלים ואביזרי מעבר לתא הוואקום. חיישנים וכבלים אלה נטולי חלקיקים במידה גבוהה וניתן להשתמש בהם מחדרים נקיים ועד UHV.

מדידות מרחק יציבות בדיוק הגבוה ביותר

את הבקר של מערכת המדידה ניתן להתקין בארון הבקרה באמצעות הרכבתו על מסילת DIN ובכך למקם החיישן בסביבה הפעילנ שיספק תוצאות מדידה יציבות מאוד בזכות פיצוי טמפרטורה פעיל וקירור פסיבי. חיישנים קומפקטיים אלה חוסכים במקום ויש ולהם מחוברים סיבים אופטיים גמישים במיוחד. אורך הסיב האופטי הינו עד 10 מטר ומאפשרים הפרדה מרחבית בין החיישן לבקר. ניתן ליישר את החיישן בקלות ובמהירות מול המטרה בעזרת כוונת הלייזר המשולבת. הזמנה ושינוי פרמטרים מבוצעים בצורה נוחה באמצעות ממשק רשת ואינם דורשים כל התקנת תוכנה.

מדידה על משטחים מרובים

שיטת המדידה האינטרפרומטרית מאפשרת מדידות על משטחים רבים. בכך מתאפשרת מדידת מרחק ברמת דיוק גבוהה על מתכות רפלקטיביות, פלסטיק וזכוכית.

Micro-Epsilon Messtechnik
Königbacher Str. 15
94496 Ortenburg
info@micro-epsilon.de
+49 8542 / 168 - 0
+49 8542 / 168 - 90