מיקום ברמת דיוק ננומטרית במכונות ליתוגרפיה

כדי להאיר רכיבים ספציפיים בפרוסות הסיליקון, מכשירים ליתוגרפיים מניעים את הפרוסה למיקום המתאים. חיישני תזוזה קיבוליים מודדים את מיקום מסלול התנועה על מנת להגיע למיקום ברמת דיוק ננומטרית.