מיקום במת פרוסת הסיליקון באמצעות חיישנים קיבוליים

חיישני מיקום קיבוליים משמשים למשימות מיקום עדינות של במת פרוסה הסיליקון. חיישנים אלה מודדים את המיקום של הבמה בנקודות שונות, דבר שימושי במיוחד עבור יישור עדין. הודות לעיצוב המיוחד שלהם, החיישנים אינם רגישים לשדות אלקטרומגנטיים ומשיגים רזולוציה בטווח הננומטר. יתר על כן, החיישנים מציעים יציבות גבוהה מאוד לטווח ארוך. חיישנים ללא מגע אלה מיועדים לתחום מדידה בוואקום וניתן להשתמש בהם גם בתחומי ה-UHV.