קפוץ ישירות לניווט הראשי גישה ישירה לתוכן קפוץ לניווט משנה

מדידת העובי והמבנה של פרוסות מוליכים למחצה לתאים סולאריים

ייצור פרוסות מוליכים למחצה לתאים סולאריים מתחיל עם פרוסות המוליכים למחצה הגולמיות המנוסרות ממה שמכונה מטילים. הפרוסות חייבות לעמוד בעובי נקוב של כ-180 מיקרומטר כדי להמשיך בתהליך העיבוד.

שישה חיישנים קיבוליים מודדים אפוא את הפרוסות על גבי המסוע. שני החיישנים ממוקמים זה מול זה, כך שניתן להעריך עובי בשלושה מסלולים. בקר רב ערוצי עם חישוב משולב קובע ישירות את אות העובי המדויק, שעל בסיסו הערכת החלקים מסתיימת עם האפשרויות OK/NOK. בנוסף, גם אות המרחק המתאים הוא פלט ומוערך ביחס לאיכות פני השטח או לחוסר אחידות אפשרית.

היתרון של פתרון עם חיישנים קיבוליים הוא שמדידות העובי מדויקות ויציבות. בהשוואה למערכות אופטיות, חיישנים קיבוליים הרבה יותר מדויקים כאן. ניתן גם להשתמש במערכת capaNCDT 6200 מרובת הערוצים עם אפשרות חישוב משולבת כדי להפיק אותות מרחק ועובי.