מיקום במת ייצוב פרוסות הסיליקון

חיישנים ללא-מגע של מיקרו-אפסילון משמשים לניטור מיקום במת ייצוב פרוסות הסיליקון, שם הם מודדים תנועות דינמיות מאוד בצירים XYZ של הבמה, אשר מאיצה במהירות רבה. חיישנים קיבוליים ואינדוקטיביים (זרמי ערבולת) מגיעים לרזולוציה של ננומטר על מנת להבטיח שהפרוסה ממוקמת בצורה מדויקת לקראת תהליך החשיפה. החיישנים החדשניים הללו יכולים לשמש גם ליישומים בואקום והם אינם מושפעים משדות מגנטיים חזקים.

Micro-Epsilon Messtechnik
Königbacher Str. 15
94496 Ortenburg
info@micro-epsilon.de
+49 8542 / 168 - 0
+49 8542 / 168 - 90