מדידת עובי בדיוק גבוה של פרוסות סיליקון

חיישני תזוזה קיבוליים משמשים למדידת עובי מדוייקת של פרוסות סיליקון. שני חיישנים במיקומים מנוגדים מזהים את העובי וגם מזהים פרמטרים אחרים כגון הטייה או סימני חיתוך. מיקום הפרוסה במרווח המדידה עשוי להשתנות.